菲索型激光干涉仪，具有环形光源伪迹消除抑制技术，是一种高精度、共光路面形计量干涉仪。ZYGO新一代激光干涉仪系列--VeriFire激光干涉仪，继承了工业标准GPI激光干涉仪系列的大部分优点，融合了机械相移技术、革命性的数据采集技术、高性能的光电成像系统、振动补偿软件、非球面测量技术和波纹抑制技术等。